Search Result of "Fumihiko Hirose"

About 7 results
Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Infrared study on room-temperature atomic layer deposition of TiO2 using tetrakis(dimethylamino)titanium and remote-plasma-excited water vapor

ผู้แต่ง:ImgKensaku Kanomata, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgBashir Ahmmad, ImgShigeru Kubota, ImgK. Hirahara, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:
Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Infrared study on room-temperature atomic layer deposition of HfO2 using tetrakis(ethylmethylamino)hafnium and remote plasma-excited oxidizing agents

ผู้แต่ง:ImgKensaku Kanomata, ImgHisashi Ohba, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgBashir Ahmmad, ImgShigeru Kubota, ImgKazuhiro Hirahara, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:
Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Room-Temperature Atomic Layer Deposition of Al2O3 with Remote-Plasma Source Investigated by IR Absorption Spectroscopy

ผู้แต่ง:ImgKensaku Kanomata, ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgHisashi Ohba, ImgBashir Ahmmad ARIMA, ImgShigeru Kubota, ImgKazuhiro Hirahara, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:

Img

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Nitrogen Adsorption of Si(100) Surface by Plasma Excited Ammonia

ผู้แต่ง:ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgKensaku Kanomata, ImgBashir Ahmmad, ImgShigeru Kubota, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:

Img Img

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Room Temperature Atomic Layer Deposition of Gallium Oxide Investigated by IR Absorption Spectroscopy

ผู้แต่ง:ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgKensaku Kanomata, ImgBashir Ahmmad, ImgShigeru Kubota, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:

Img

Img

ผลงานตีพิมพ์ในวารสารวิชาการ

Growth kinetics for temperature-controlled atomic layer deposition of GaN using trimethylgallium and remote-plasma-excited NH3

ผู้แต่ง:ImgDr.P. PUNGBOON PANSILA, Assistant Professor, ImgKensaku Kanomata, ImgMasanori Muira, ImgBashir Ahmmad, ImgShigeru Kubota, ImgFumihiko Hirose,

วารสาร:

Img

Img

Researcher

ดร. ภ.พึ่งบุญ ปานศิลา, ผู้ช่วยศาสตราจารย์

ที่ทำงาน:ภาควิชาวิทยาศาสตร์พื้นฐานและพลศึกษา คณะวิทยาศาสตร์ ศรีราชา

สาขาที่สนใจ:Ultra-High Vacuum, Physics of Vacuum and Vacuum Technology, Physics of Thin Film and Thin Film Technology, Plasma Processing and Plasma Technology, Semiconductor Processing, Atomic layer deposition and Sputtering Process , Surface Chemistry, Materials for medical applications, Renewable Energy, Simulation for Gas adsorbed Surface, High Quality Thin Films

Resume